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SRF系列射頻電源

產品概述主要特點

SRF系列射頻電源

SRF系列射頻電源

SRF系列射頻電源

等離子體電源

SRF系列射頻電源

SRF系列射頻電源采用數模混合控制及高精測量技術，固定頻率輸出，輸出功率具備寬范圍、高精度、高可靠性及高穩定性等特點；標配CEX同步，可選配單級脈沖功能，滿足多種工藝需求，輔助完成更高的工藝穩定性和控制。可廣泛應用于光伏、面板、半導體行業、科研、制造業等領域，適用ETCH、PECVD等工藝設備。

Features

主要特點

?數模混合控制架構

01

?靈活的控制模式配置

02

高精度測量系統

03

快速CEX相位同步

04

?豐富的人機交互接口

05

高可靠性射頻輸出

06

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